Rentgenstaru metroloģija ir piemērots risinājums plānkārtiņu analīzei dažāda veida mikroslāņu un optoelektronisko ierīču izstrādē un masveida ražošanā.

Plāno kārtiņu metroloģijas iekārtas, kuru pamatā ir rentgenstaru metodes, piemēram, XRD, XRR un XRF, nodrošina ātrus un nesagraujošus rezultātus. Tās ir pierādījušas sevi kā efektīvas plāno kārtiņu, dažādu struktūru un sistēmu kritisko parametru pētīšanai līdz nanometru skalai. Iegūtā informācija ir būtiska, lai uzlabotu kvalitāti, o;ptimizētu ražošanas efektivitāti un samazinātu izmaksas.

Malvern Panalytical piedāvā metroloģijas risinājumus slāņveida strukturētu mikro- un optoelektronisko ierīču izstrādei un ražošanas kontrolei.

Iekārtas kuru darbības pamatā ir rentgenstaru metroloģijas metodes ir būtisks atbaslsts no pētniecības un attīstības fāzes līdz izmēģinājuma ražošanai un līdz pilna mēroga automatizētai pusvadītāju ierīču ražošanai.